A multi-axis interferometer includes a multiplexer portion and a beam
splitter portion integrated into the same optically transmissive monolith.
The multiplexer portion is configured to split an input beam into a
corresponding plurality of intermediate beams, each of which is directed
toward the beam splitter portion through a corresponding output port of
the multiplexer portion. The beam splitter portion is configured to
separate the intermediate beam into a measurement component and a
reference component.
Multi-axis интерферометр вклюает часть мультиплексора и часть splitter луча интегрированные в такое же оптически transmissive monolith. Часть мультиплексора установлена для того чтобы разделить луч входного сигнала в соответствуя множественность промежуточных лучей, каждое из которых направлено к части splitter луча через соответствуя порт выввода части мультиплексора. Часть splitter луча установлена для того чтобы отделить промежуточный луч в компонент измерения и компонент справки.
