An effective index modifier that modifies light propagation in a waveguide.
The device is formed on a wafer, such as a Silicon-On-Insulator (SOI)
wafer that includes an insulator layer and an upper silicon layer. A
waveguide is formed at least in part in the upper silicon layer of the SOI
wafer. The waveguide guides an optical signal by total internal
reflection. At least one micro-mechanical system (MEMS) having at least
one movable component is disposed a positive distance away from the
waveguide. Application of voltage to the MEMS results in a variation of
the distance between the moveable component and the waveguide, which in
turn alters the effective index of the waveguide in a location proximate
the moveable object, thereby resulting in modification of light
propagation in the waveguide.
Эффективный модификатор индекса дорабатывает светлое распространение в волноводе. Приспособление сформировано на вафле, such as вафля Кремни-На-Izol4tora (SOI) которая вклюает слой изолятора и верхний слой кремния. Волновод сформирован по крайней мере в части в верхнем слое кремния вафли SOI. Волновод направляет оптически сигнал полным внутренне отражением. По крайней мере одна микро--mexaniceski система (MEMS) имея по крайней мере один подвижной компонент размещана положительное расстояние прочь от волновода. Применение напряжения тока к MEMS приводит к в изменении расстояния между подвижным компонентом и волноводом, который в свою очередь изменяет эффективный индекс волновода в положении proximate подвижной предмет, таким образом resulting in изменение светлого распространения в волноводе.
