Described is a high quality sputtering target and method of manufacture
which involves application of equal channel angular extrusion.
Περιγράφονται ένας υψηλής ποιότητας ψεκάζοντας στόχος και μια μέθοδος κατασκευής που περιλαμβάνει την εφαρμογή της ίσης γωνιακής εξώθησης καναλιών.
