A system and method for determining the dielectric properties associated
with a substrate. In one embodiment, a network analyzer measures
scattering parameters for at least two lines of substantially identical
cross-section embedded within the substrate over a specified frequency
range. A first engine determines a complex propagation constant based on
the scattering parameters and defines the complex propagation constant in
terms of an attenuation component and a phase component. A second engine,
responsive to the phase component, determines a relative permittivity
parameter associated with the substrate over the specified frequency
range. A third engine, responsive to the attenuation component and the
relative permittivity parameter, performs a least squares analysis to
determine a loss tangent parameter associated with the substrate over the
specified frequency range.
Ein System und eine Methode für die Bestimmung der dielektrischen Eigenschaften verbanden mit einem Substrat. In einer Verkörperung mißt ein Netzwerkanalysator, Parameter für mindestens zwei Linien im wesentlichen identischen Querschnitt zu zerstreuen, der innerhalb des Substratüberschusses ein spezifizierter Frequenzbereich eingebettet wird. Eine erste Maschine stellt eine komplizierte Fortpflanzungskonstante fest, die auf den Zerstreuenparametern basiert und definiert die komplizierte Fortpflanzungskonstante in einem Verminderung Bestandteil und einem Phase Bestandteil ausgedrückt. Eine zweite Maschine, die dem Phase Bestandteil entgegenkommend ist, stellt einen relativen Genehmigungparameter fest, der mit dem Substratüberschuß der spezifizierte Frequenzbereich verbunden ist. Eine dritte Maschine, ein entgegenkommendes dem Verminderung Bestandteil und dem relativen Genehmigungparameter, führt eine kleinste Quadratanalyse durch, um einen Verlusttangenteparameter festzustellen, der mit dem Substratüberschuß der spezifizierte Frequenzbereich verbunden ist.
