Polymers comprising recurring units of cycloolefin having fluorinated alkyl
introduced therein are novel and have transparency and alkali solubility.
Using the polymers, resist compositions featuring low absorption of
F.sub.2 excimer laser light are obtained.
De polymeren die uit terugkomende eenheden van cycloolefin bestaan die fluorinated daarin geïntroduceerd alkyl heeft zijn nieuw en hebben transparantie en alkalioplosbaarheid. Gebruikend de polymeren, verzet me tegen samenstellingen die lage absorptie van excimer F.sub.2 laserlicht kenmerken worden verkregen.
