A method and system for selectively identifying reliability risk die based
on characteristics of local regions on a wafer by computing particle
sensitive yield and using the particle sensitive yield to identify
reliability risk die. Specifically, a bin characteristics database which
identifies hard and soft bins that are sensitive to different failure
mechanisms is maintained, and the bin characteristics database is used to
compute particle sensitive yield. It is determined whether the particle
sensitive yield of the local region around the current die is less than a
pre-set threshold, and the die is downgraded if the particle sensitive
yield of the local region around the current die is less than the pre-set
threshold. If the particle sensitive yield of the local region around the
current die is not less than the pre-set threshold, the die is not
downgraded.
Een methode en een systeem om de matrijs selectief te identificeren van het betrouwbaarheidsrisico die op kenmerken van lokale gebieden op een wafeltje door deeltjes gevoelige opbrengst gegevens te verwerken en de deeltjes gevoelige opbrengst te gebruiken wordt gebaseerd om de matrijs van het betrouwbaarheidsrisico te identificeren. Specifiek, worden een gegevensbestand van bakkenmerken dat harde en zachte bakken identificeren die voor verschillende mislukkingsmechanismen gevoelig zijn worden gehandhaafd, en het gegevensbestand van bakkenmerken gebruikt om deeltjes gevoelige opbrengst gegevens te verwerken. Het wordt bepaald of de deeltjes gevoelige opbrengst van het lokale gebied rond de huidige matrijs minder dan een vooraf ingestelde drempel is, en de matrijs wordt gedegradeerd als de deeltjes gevoelige opbrengst van het lokale gebied rond de huidige matrijs minder dan de vooraf ingestelde drempel is. Als de deeltjes gevoelige opbrengst van het lokale gebied rond de huidige matrijs de vooraf ingestelde drempel niet minder dan is, wordt de matrijs niet gedegradeerd.
