Interferometric scanning method(s) and apparatus for measuring rotationally
and non-rotationally symmetric test optics either having aspherical
surfaces or that produce aspherical wavefronts. A spherical or partial
spherical wavefront is generated from a known origin along an optical
axis. The test optic is aligned with respect the optical axis and
selectively moved along it relative to the known origin so that the
spherical wavefront intersects the test optic at the apex of the
aspherical surface and at radial positions where the spherical wavefront
and the aspheric surface intersect at points of common tangency. An axial
distance, .nu., and optical path length, p, are interferometrically
measured as the test optic is axially scanned by the spherical wavefront
where .nu. is the distance by which the test optic is moved with respect
to the origin and p is the optical path length difference between the apex
of an aspherical surface associated with the test optic and the apex of
the circles of curvature that intersect the aspherical surface at the
common points of tangency. Coordinates of the aspherical surface are
calculated wherever the circles of curvature have intersected the
aspherical surface and in correspondence with the interferometrically
measured distances, .nu. and p. Afterwards, the shape of the aspheric
surface is calculated. Where the test optic comprises a refracting optic a
known spherical reflecting surface is provided upstream of the refracting
optic for movement along the optical axis and a known wavefront is made to
transit the refracting optic, reflects from the known spherical surface,
again transits the refracting optic traveling towards the known origin
after which the interferogram is formed. In another aspect of the
invention, a spherical reference surface is provided to form a Fizeau that
is used to generate phase information for measuring spheres, mild
aspheres, and multiple mild aspheres.
Method(s) y aparato interferométricos de la exploración para medir la óptica rotationally y non-rotationally simétrica de la prueba que tiene superficies aspherical o frentes de onda aspherical de ese producto. Un frente de onda esférico esférico o parcial se genera de un origen sabido a lo largo de un eje óptico. La prueba óptica se alinea con respecto el eje óptico y se mueve selectivamente a lo largo de ella relativa al origen sabido tan que el frente de onda esférico interseca la prueba óptica en el ápice de la superficie aspherical y en las posiciones radiales donde el frente de onda esférico y la superficie aspheric se intersecan en los puntos de la tangencia común. Una distancia axial, un nu., y una longitud de trayectoria óptica, p, interferometrically se miden mientras que la prueba óptica es explorada axialmente por el frente de onda esférico donde está la distancia por la cual la prueba óptica es movida con respecto al origen y p es la diferencia óptica de la longitud de trayectoria entre el ápice de una superficie aspherical asociada a la prueba óptica y el ápice el nu. de los círculos de la curvatura que intersecan la superficie aspherical en los puntos comunes de la tangencia. Los coordenadas de la superficie aspherical se calculan dondequiera que los círculos de la curvatura hayan intersecado la superficie aspherical y en correspondencia con las distancias, el nu. y el p. interferometrically luego medidos, la forma de la superficie aspheric se calculan. Donde la prueba óptica abarca refractar óptico una superficie de reflejo esférica sabida se proporciona contracorriente desde refractar óptico para el movimiento a lo largo del eje óptico y un frente de onda sabido se hace al tránsito el refractar óptico, refleja de la superficie esférica sabida, otra vez tránsitos el viajar óptico que refracta hacia el origen sabido después de lo cual se forma el interferogram. En otro aspecto de la invención, una superficie de referencia esférica se proporciona para formar un Fizeau que se utilice para generar la información de la fase para las esferas que miden, los aspheres suaves, y los aspheres suaves múltiples.
