Narrow bitline using Safier for mirrorbit

   
   

A technique for forming at least part of an array of a dual bit memory core is disclosed. A Safier material is utilized in the formation process to reduce the size of buried bitlines in the memory, which is suitable for use in storing data for computers and the like. The smaller (e.g., narrower) bitlines facilitate increased packing densities while maintaining an effective channel length between the bitlines. The separation between the bitlines allows dual bits that are stored above the channel within a charge trapping layer to remain sufficiently separated so as to not interfere with one another. In this manner, one bit can be operated on (e.g., for read, write or erase operations) without substantially or adversely affecting the other bit. Additionally, bit separation is preserved and leakage currents, cross talk, as well as other adverse effects that can result from narrow channels are mitigated, and the memory device is allowed to operate as desired.

Uma técnica para dar forma ao menos à parte de uma disposição de um núcleo duplo da memória do bocado é divulgada. Um material de Safier é utilizado no processo da formação para reduzir o tamanho de bitlines enterrados na memória, que é apropriada para o uso em armazenar dados para computadores e o gosto. (por exemplo) os bitlines mais estreitos menores facilitam densidades de embalagem aumentadas ao manter um comprimento de canaleta eficaz entre os bitlines. A separação entre os bitlines permite os bocados duplos que são armazenados acima da canaleta dentro de uma camada da caça com armadilhas da carga para remanescer separados suficientemente para não interferir com a uma outra. Nesta maneira, um bocado pode ser operado sobre (por exemplo, para lido, para escrever ou apagar operações) without substancialmente ou adversamente afetando o outro bocado. Adicionalmente, a separação do bocado é preservada e correntes do escapamento, conversa da cruz, assim como outros efeitos adversos que podem resultar das canaletas estreitas mitigated, e o dispositivo de memória são reservados para se operar como desejado.

 
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