Estimation related to void formation and breakage/failure is performed
through numerical simulation using dominant parameters of EM damage in a
metal interconnect. The metal interconnect is divided into elements.
Current density and temperature distribution is obtained using numerical
analysis. Atomic flux divergence AFD.sub.gen of each element and the
distribution thereof is calculated by using material property constants
determined through acceleration testing. The reduction of volume per one
calculation step in the simulation is found by multiplying the volume of
each element, the length of time corresponding to one calculation step,
and the atomic volume corresponding to the calculated AFD.sub.gen. Based
on the reduced amount of volume, the thickness of each element decreases.
The elements having a decrease in thickness show the fact that voids have
formed. The numerical analysis of the current density and temperature
distribution in the metal interconnect is once again performed considering
the thickness of each element.
De schatting met betrekking tot nietige vorming en breuk/mislukking wordt uitgevoerd door numerieke simulatie gebruikend dominante parameters van schade EM in een metaal onderling verbindt. Het metaal verbindt is verdeeld in elementen onderling. Huidige dichtheid en temperatuur de distributie wordt verkregen gebruikend numerieke analyse. De atoom stroomdivergentie AFD.sub.gen van elk element en distributie wordt daarvan door materieel bezitsconstanten berekend te gebruiken die door versnelling het testen worden bepaald. De vermindering van volume per één berekeningsstap in wordt de simulatie gevonden door het volume van elk element, de tijdsduur te vermenigvuldigen die aan één berekeningsstap beantwoordt, en het atoomvolume dat aan berekende AFD.sub.gen. beantwoordt die op de verminderde hoeveelheid volume wordt gebaseerd, de dikte van elk element vermindert. De elementen die een daling van dikte hebben tonen het feit dat de leegten zich hebben gevormd. De numerieke analyse van de huidige dichtheid en temperatuurdistributie in het metaal verbindt nogmaals wordt gepresteerd overwegend de dikte van elk element onderling.
