The invention features methods and systems in which wavelength-tune PSI
data is analyzed in the frequency domain to produce spectrally separated
frequency peaks each corresponding to a particular pair of surfaces in an
interferometric cavity defined by multiple pairs of surfaces. Each
frequency peak provides optical path length information about a
corresponding pair of surfaces in the cavity. As a result, the
interferometric data from such cavities provides simultaneous information
about multiple surfaces.
Вымысел отличает методами и системы в длин волны-nastro6te данные по psi проанализированы в домене частоты для того чтобы произвести спектрально отделенные пики каждое частоты соответствуя к определенной паре поверхностей в интерферометрической полости определенной множественными парами поверхностей. Каждый пик частоты обеспечивает оптически данные по длины курса о соответствуя паре поверхностей в полости. В результате, интерферометрические данные от таких полостей обеспечивают одновременную информацию о множественных поверхностях.
