Microlens, its forming method and optical module

   
   

A method for forming many microlenses comparatively easily and effectively is provided. On one end of an optical substrate is formed a plurality of lens planes at regular intervals. Lens areas containing the lens planes are partially covered by an etching mask and etching processing is performed on areas being exposed outside the etching mask to remove the areas to a specified depth. While the lens planes formed on one surface of the optical substrate are being held by a support substrate, polishing processing is performed on another end face of the optical substrate and each microlens formed in the lens areas is separated from the support substrate.

Um método para dar forma a muitos microlenses comparativamente fàcilmente e é fornecido eficazmente. Em uma extremidade de uma carcaça ótica é dado forma um plurality de planos da lente em intervalos regulares. As áreas da lente que contêm os planos da lente são cobertas parcialmente por uma máscara gravura a água-forte e processar gravura a água-forte é executado nas áreas que estão sendo expostas fora da máscara gravura a água-forte para remover as áreas a uma profundidade especificada. Quando os planos da lente dados forma em uma superfície da carcaça ótica forem mantidos por uma carcaça da sustentação, processar lustrando é executado em uma outra cara da extremidade da carcaça ótica e cada os microlens dados forma nas áreas da lente são separados da carcaça da sustentação.

 
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