Electrothermal Self-Latching MEMS Switch and Method. According to one
embodiment, a microscale switch having a movable microcomponent is
provided and includes a substrate having a stationary contact. The switch
can also include a structural layer having a movable contact positioned
for contacting the stationary contact when the structural layer moves
toward the substrate. An electrothermal latch attached to the structural
layer and having electrical communication with the movable contact to
provide current flow between the electrothermal latch and the stationary
contact when the movable contact contacts the stationary contact for
maintaining the movable contact in contact with the stationary contact.
Ηλεκτροθερμικοί να μόνος-κλείσει με το μάνταλο διακόπτης MEMS και μέθοδος. Σύμφωνα με μια ενσωμάτωση, ένας microscale διακόπτης που έχει κινητό έναν microcomponent παρέχεται και περιλαμβάνει ένα υπόστρωμα που έχει μια στάσιμη επαφή. Ο διακόπτης μπορεί επίσης να περιλάβει ένα δομικό στρώμα που έχει μια κινητή επαφή τοποθετημένη για την επαφή της στάσιμης επαφής όταν κινείται το δομικό στρώμα προς το υπόστρωμα. Ένας ηλεκτροθερμικός σύρτης συνδέθηκε με το δομικό στρώμα και κατοχή της ηλεκτρικής επικοινωνίας με την κινητή επαφή για να παρέχει την τρέχουσα ροή μεταξύ του ηλεκτροθερμικού σύρτη και τη στάσιμη επαφή όταν έρχεται σε επαφή με η κινητή επαφή τη στάσιμη επαφή για τη διατήρηση της κινητής επαφής σε επαφή με τη στάσιμη επαφή.
