High angle micro-mirrors and processes

   
   

A micro-mirror that comprises a substrate, a hinge structure formed on the substrate and a mirror plate attached to the hinge structure is provided for use in display systems. The mirror plate is capable of rotating from a non-deflected resting state to a state that is at least 14.degree., and preferably from 15.degree. to 27.degree. from the non-deflected resting state. In operation, the micro-mirror switches between an "ON"-state and "OFF"-state, which are defined in accordance with a rotational position of the mirror plate. The OFF state can be a non-deflected position of the micro-mirror (generally parallel to the substrate), the same angle (though opposite direction) as the ON state, or an angle less than the ON state (though in the opposite direction). Reflected light from the "ON" and "OFF" states are thus separated and the contrast ratio is improved.

Uno micro-specchio che contiene un substrato, una struttura della cerniera formata sul substrato e una piastra dello specchio fissata alla struttura della cerniera è fornito per uso nei sistemi di visualizzazione. La piastra dello specchio è capace di rotazione da un riposarsi non-deviato dichiara ad un dichiarare che è almeno 14.degree. e preferibilmente da 15.degree. a 27.degree. dal riposarsi non-deviato dichiari. In funzione, lo micro-specchio commuta fra "un ON"-dichiarare e "un OFF"-dichiarare, che sono definiti in conformità con una posizione di rotazione della piastra dello specchio. FUORI il dichiarare può essere una posizione non-deviata dello micro-specchio (generalmente parallelo al substrato), dello stesso angolo (benchè di fronte al senso) come SOPRA il dichiarare, o di un angolo più di meno SOPRA del dichiarare (comunque nel senso opposto). La luce riflessa da "on" e da "off" dichiara così è separata ed il rapporto di contrasto è migliorato.

 
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