A method and system for preventing a source of ultra-purified water from
being contaminated with chemicals includes a source of ultra-purified
water and a reservoir containing a chemical source. The reservoir has a
chemical delivery valve and a chemical outlet pipe coupled to a chemical
delivery line for supplying chemicals to a process chamber during a
chemical delivery mode of operation. A first controllable inlet valve has
its outlet coupled to the chemical delivery line and the source of
ultra-purified water for supplying the ultra-purified water from the
source of ultra-purified water to the process chamber during a flushing
mode of operation. A second controllable inlet valve has an outlet coupled
to the inlet of the first controllable inlet valve and an inlet coupled to
the source of ultra-purified water. A source of gas under pressure is
coupled between the outlet of the second controllable inlet valve and the
inlet of said first controllable inlet valve for creating a virtual air
gap. As a result, there is prevented the backflow of the chemical source
from the reservoir into the source of ultra-purified water causing
contamination thereof during the chemical delivery mode of operation.
Метод и система для предотвращать источник ультра-oci5enno1 воды от быть загрязненным с химикатами вклюают источник ультра-oci5enno1 воды и резервуара содержа химически источник. Резервуар имеет химически клапан поставки и химически трубу выхода соединенные к химически линии поставки для поставляя химикатов к отростчатой камере во время химически mode of operation поставки. Первый controllable клапан входа имеет свой выход соединенный к химически линии поставки и источнику ультра-oci5enno1 воды для поставлять ультра-oci5ennuh воду от источника ультра-oci5enno1 воды к отростчатой камере во время топя mode of operation. Второй controllable клапан входа имеет выход соединенный к входу первого controllable клапана входа и входу соединенному к источнику ультра-oci5enno1 воды. Источник газа под давлением соединен между выходом второго controllable клапана входа и входом сказанного первого controllable клапана входа для создавать фактически зазор воздуха. В результате, предотвращено противороту химически источника от резервуара в источник ультра-oci5enno1 воды причиняя загрязнение thereof во время химически mode of operation поставки.
