Methods of forming a film on a substrate using chemical vapor deposition techniques and pyrazolyl complexes. The complexes and methods are particularly suitable for the preparation of semiconductor structures.

Методы формировать пленку на субстрате использующ методы низложения химически пара и комплексы pyrazolyl. Комплексы и методы определенно целесообразны для подготовки структур полупроводника.