A gas tube with heating apparatus. The gas tube is applicable in a chemical vapor deposition machine. The gas comprises a gas circulating tube and a coaxial gas tube invaginating a gas transporting tube therein. A heater is installed in the gas circulating tube, while the coaxial tube is covered by a thermal insulating layer. In addition, a control valve, a pressure gauge, and a particle trap are installed in a gas supplying tube connecting with the gas circulating tube.

Um tubo do gás com instrumento de heating. O tubo do gás é aplicável em uma máquina do deposition de vapor químico. O gás compreende um tubo circulando do gás e um tubo coaxial do gás que invaginating um gás que transporta o tubo nisso. Um calefator está instalado no tubo circulando do gás, quando o tubo coaxial for coberto por uma camada isolando térmica. Além, uma válvula de controle, um calibre de pressão, e uma armadilha da partícula são instalados em um tubo fornecendo do gás que conecta com o tubo circulando do gás.