The object of the invention is to provide an automatic module and cassette station detecting and aligning semiconductor wafer/substrate material handling unit with a thermal processing chamber module having an integrated, sturdy, chemical and temperature resistant wafer lift pins and door actuation apparatus. One of the benefits that is derived from this apparatus is the ability to quickly and easily attach various processing modules at any docking position of the semiconductor wafer/substrate material handling unit (hereinafter MHU). The MHU of this apparatus has the additional benefit of a cassette station that automatically aligns and detects a plurality of different size and shape semiconductor wafer/substrate cassettes. The semiconductor wafer/substrate cassettes may also be functionally attached to a module that is docked to the MHU for use. A further benefit of this apparatus is the ability to cluster MHUs providing for the use of additional modules, all of which may be controlled by one central processing unit. Additionally the modules and MHU are specifically designed to dock and lock utilizing a locating mechanism which places the module in the precise location with respect to the MHU for use. Once the module is docked and then locked the exhaust interface between the module and the MHU self-aligns and self-seals. In a Thermal Processing Chamber module utilizing the benefits of the aforementioned modularity, docking and locking, clustering, and exhaust interfacing, this invention further enure the benefit of an integrated compact wafer lift pin and door actuation mechanism which provides for a low-profile lift pin mechanism that maintains the lift pins at a level position during operation and an integrated chamber door utilizing one prime mover and one control path which simplifies operation and reduces parts count and improves the reliability of the module's precise acceptance and delivery of a wafer from the MHU. In yet another benefit of this disclosure in the Thermal Processing Chamber module this invention utilizes thermal processing chamber lift pins comprised of materials of very low thermal conductivity which are sturdy, chemical and temperature resistant and hence minimize the pins thermal effect on the resist coating thickness applied to a wafer.

Το αντικείμενο της εφεύρεσης είναι να παρασχεθεί ένας αυτόματος σταθμός ενότητας και κασετών που ανιχνεύει και που ευθυγραμμίζει την γκοφρέτα ημιαγωγών/τη μονάδα υλικού χειρισμού υποστρωμάτων με μια θερμική ενότητα αιθουσών επεξεργασίας που έχει καρφίτσες τις ανθεκτικές ανελκυστήρων ενσωματωμένων, εύρωστων, χημικών και γκοφρετών θερμοκρασίας και τις συσκευές ώθησης πορτών. Ένα από τα οφέλη που απορρέει από αυτήν την συσκευή είναι η δυνατότητα γρήγορα και εύκολα συνδέει τις διάφορες ενότητες επεξεργασίας σε οποιαδήποτε θέση ελλιμενισμού της μονάδας υλικού χειρισμού γκοφρετών/υποστρωμάτων ημιαγωγών (εφεξής MHU). Το MHU αυτής της συσκευής έχει το πρόσθετο όφελος ενός σταθμού κασετών που ευθυγραμμίζει αυτόματα και ανιχνεύει μια πολλαπλότητα των διαφορετικών κασετών γκοφρετών ημιαγωγών μεγέθους και μορφής/υποστρωμάτων. Οι κασέτες γκοφρετών/υποστρωμάτων ημιαγωγών μπορούν επίσης να συνδεθούν λειτουργικά με μια ενότητα που ελλιμενίζεται στο MHU για τη χρήση. Ένα περαιτέρω όφελος αυτής της συσκευής είναι η δυνατότητα να συγκεντρωθεί MHUs επιτρέποντας τη χρήση των πρόσθετων ενοτήτων, οι οποίες μπορούν να ελεγχθούν από μια μονάδα κεντρικής επεξεργασίας. Επιπλέον οι ενότητες και το MHU έχουν ως σκοπό συγκεκριμένα να ελλιμενίσουν και να κλειδώσουν τη χρησιμοποίηση ενός μηχανισμού εντόπισης που τοποθετεί την ενότητα στην ακριβή θέση όσον αφορά το MHU για τη χρήση. Μόλις ελλιμενιστεί η ενότητα και κλείδωσε έπειτα η διεπαφή εξάτμισης μεταξύ της ενότητας και του MHU μόνος-ευθυγραμμίζει και μόνος-σφραγίδες. Σε μια θερμική ενότητα αιθουσών επεξεργασίας που χρησιμοποιεί τα οφέλη του προαναφερθέντος διαμορφώσιμου, που ελλιμενίζει και που κλειδώνει, που συγκεντρώνεται, και που διασυνδέει εξάτμισης, αυτός ο enure εφευρέσεων περαιτέρω το όφελος ενός ενσωματωμένου συμπαγούς μηχανισμού ώθησης καρφιτσών και πορτών ανελκυστήρων γκοφρετών που προβλέπει έναν μηχανισμό καρφιτσών ανελκυστήρων χαμηλός-σχεδιαγράμματος που διατηρεί τις καρφίτσες ανελκυστήρων σε μια θέση επιπέδων κατά τη διάρκεια της λειτουργίας και μια ενσωματωμένη πόρτα αιθουσών που χρησιμοποιεί έναν πρωταρχικό μετακινούμενο και μια πορεία ελέγχου που απλοποιεί τη λειτουργία και μειώνει τα μέρη μετρά και βελτιώνει την αξιοπιστία της ακριβών αποδοχής και της παράδοσης της ενότητας μιας γκοφρέτας από το MHU. Σε ακόμα ένα όφελος αυτής της κοινοποίησης στη θερμική ενότητα αιθουσών επεξεργασίας αυτή η εφεύρεση χρησιμοποιεί τις θερμικές καρφίτσες ανελκυστήρων αιθουσών επεξεργασίας που αποτελούνται από τα υλικά της πολύ χαμηλής θερμικής αγωγιμότητας που είναι εύρωστα, χημικός και η θερμοκρασία ανθεκτική και ως εκ τούτου ελαχιστοποιεί τις καρφίτσες που η θερμική επίδραση αντιστέκεται στο πάχος επιστρώματος που εφαρμόζεται σε μια γκοφρέτα.