Multilayer metal materials are selected so that the materials will alloy or intermix under rapid thermal annealing conditions. The individual materials of the multilayers are preferably chosen such that at least one of the materials may be selectively etched with respect to the other material by wet chemical or electrochemical etching. For electroplating applications, the alloyed plating base material will assume some of the etch resistance of the original electrodeposit material such that a selective wet etch of the plating base can be performed without substantial undercutting. Furthermore, the graded composition alloy will exhibit other advantageous physical and chemical properties for electrode formation and use. The alloying or intermixing may be accomplished before or after patterning of the materials, for the instance wherein the materials deposited as blanket layers. Similarly, the alloying or intermixing may be accomplished before or after plating base removal for structures deposited by through-mask plating.

Se seleccionan los materiales de múltiples capas del metal de modo que los materiales aleen o se entremezclen bajo condiciones termales rápidas del recocido. Los materiales individuales de los multilayers preferiblemente se eligen tales que por lo menos uno de los materiales se puede grabar al agua fuerte selectivamente con respecto al otro material por el producto químico mojado o la aguafuerte electroquímica. Para los usos de electrochapado, la materia prima que platea aleada asumirá algo de la resistencia del grabado de pistas del material original del electrodeposit tales que un grabado de pistas mojado selectivo de la base de la galjanoplastia se puede realizar sin socavar substancial. Además, la aleación calificada de la composición exhibirá otras características físicas y químicas ventajosas para la formación y el uso del electrodo. La aleación o el entremezclarse puede ser lograda antes o después de modelar de los materiales, para el caso en donde los materiales depositados como capas combinadas. Semejantemente, la aleación o el entremezclarse se puede lograr antes o después del retiro de la base de la galjanoplastia para las estructuras depositadas por la galjanoplastia de la por-ma'scara.