An improved end effector includes an end effector body having a proximal
end portion and a distal end portion. A contact member is attached to the
top surface of the proximal end portion for supporting a substrate over a
contact surface area. The contact member spaces the substrate from the end
effector body to reduce the contact area between the end effector and the
substrate. The contact member is made of a material with a low thermal
conductivity. The reduced contact area and low thermal conductivity serve
to decrease heat conduction between the contact member and the substrate
so as to reduce a temperature gradient and thermal stresses in the
substrate caused by the contact. The end effector body includes a
plurality of apertures disposed between the proximal end portion and the
distal end portion. At least some of the apertures overlap in position
with portions of the substrate to provide open areas between blocked
portions of the end effector body which overlap in position with the
substrate. The open areas facilitate heat transfer by radiation for the
substrate to reduce temperature gradient in the substrate caused by the
overlap in position between the end effector body and the substrate.
Un terminal amélioré inclut un corps de terminal ayant une partie périphérique proximale et une partie périphérique distale. Un membre de contact est attaché à la surface supérieure de la partie périphérique proximale pour soutenir un substrat au-dessus d'un secteur de surface de contact. Le membre de contact espace le substrat du corps de terminal pour réduire le secteur de contact entre le terminal et le substrat. Le membre de contact est fait d'un matériel avec une basse conductivité thermique. Le secteur de contact réduit et la basse conductivité thermique servent à diminuer la conduction de la chaleur entre le membre de contact et le substrat afin de réduire un gradient de la température et des efforts d'courant ascendant dans le substrat provoqué par le contact. Le corps de terminal inclut une pluralité d'ouvertures disposées entre la partie périphérique proximale et la partie périphérique distale. Au moins certaines des ouvertures recouvrent en position avec des parties du substrat pour fournir des terrains découverts entre les parties bloquées du corps de terminal qui recouvrent en position avec le substrat. Les terrains découverts facilitent le transfert thermique par rayonnement pour que le substrat réduise le gradient de la température dans le substrat provoqué par le chevauchement en position entre le corps de terminal et le substrat.
