The present invention generally provides a robot that can transfer two workpieces, such as silicon wafers, simultaneously and at increased speeds and accelerations and decelerations. More particularly, the present invention provides a robot wrist associated with the robot arm for mechanically clamping a workpiece to a workpiece handling member attached to the arm. The wafer clamp selectively applies sufficient force to hold the workpiece and prevent slippage and damage to the workpiece during rapid rotation and linear movement of the handling member. In one embodiment, a clamp for securing silicon wafers uses two clamp fingers connected to a single flexure member to position and hold the wafer with minimal particle generation and wafer damage. The clamp is designed so that wafers are normally clamped except near fall extension of the workpiece handling member to deliver or pick up a wafer.

Присытствыющий вымысел вообще обеспечивает робот может перенести 2 workpieces, such as вафли кремния, одновременно и на увеличенных скоростях и ускорениях и decelerations. Определенно, присытствыющий вымысел снабубежит запястье руки робота связанное с рукояткой робота для механически зажимать workpiece workpiece регулируя член прикрепленный к рукоятке. Струбцина вафли селективно придает достаточно усилие для того чтобы держать workpiece и предотвращать смещение и повреждение к workpiece во время быстро вращения и линейного движения регулируя члена. В одном воплощении, струбцина для обеспечивать вафли кремния использует 2 перста струбцины соединенного к одиночному члену сгибания к положению и держит вафлю с минимальным повреждением поколения и вафли частицы. Струбцина конструирована так, что вафли нормальн будут зажаты за исключением близкого выдвижения падения workpiece регулируя член для того чтобы поставить или выбрать вверх вафлю.