A wafer transfer system of semiconductor fabricating equipment is capable of successively arranging a plurality of wafers in a designated order (e.g., an ascending order, a descending order, an odd/even number order or an individual selection order). The wafer transfer system includes a first cassette containing the wafers, and a second cassette for receiving the wafers. A wafer transfer robot having a wafer transfer arm moves the wafers from the first cassette to the second cassette, after the wafer serial numbers have been read and sent to a computer. The computer uses a selected wafer arrangement order to decide where within the second cassette each wafer from the first cassette should be placed and then controls the wafer transfer robot to place each wafer into the desired location. With the wafers arranged in the selected order, it is not necessary to test each wafer after each fabricating process. Instead, several wafers can be selectively tested at suspected weak points, while changes in the properties of the fabricating processes can still be detected. Testing time is thereby saved, and productivity is improved.

Система переноса вафли оборудования полупроводника изготовляя способна последовательно аранжировать множественность вафель в обозначенном заказе (например, восходщем порядке, ничходящем заказе, заказе номера odd/even или индивидуальном заказе выбора). Система переноса вафли вклюает первую кассету содержа вафли, и вторую кассету для получать вафли. Робот переноса вафли имея рукоятку переноса вафли двигает вафли от первой кассеты к второй кассете, после серийныйа номер вафли прочитайте и пошлите к компьютеру. Компьютер использует выбранный заказ расположения вафли для того чтобы решить где внутри вторая кассета каждая вафля от первой кассеты должна быть помещена и после этого контролирует робот переноса вафли для того чтобы установить каждую вафлю в заданное положение. С вафлями аранжировал в выбранном заказе, ем не будет обязательно для того чтобы испытать каждую вафлю после каждого изготовляя процесса. Вместо, несколько вафель можно селективно испытать на заподозренные слабые этапы, пока изменения в свойствах изготовляя процессов можно все еще обнаружить. Испытывая время таким образом сохранено, и урожайность улучшена.