A substrate transferring apparatus comprising support members for supporting a substrate, and a drive mechanism for moving the support members to transfer the substrate, wherein the support members each have a pair of outer support segments for supporting an outer periphery of the substrate and a pair of inner support segment provided between the outer support segments.

Um instrumento transferindo da carcaça que compreendem membros da sustentação para suportar uma carcaça, e um mecanismo de movimentação para mover os membros da sustentação para transferir a carcaça, wherein os membros cada um da sustentação têm um par de segmentos exteriores da sustentação para suportar uma periferia exterior da carcaça e um par do segmento interno da sustentação fornecido entre os segmentos exteriores da sustentação.