The present invention provides a robot and a method of using the robot for transferring objects, namely substrates, through a process system. The robot provides a pair of movable arms mounted to a drive member adapted to move the arms in a rotational path to produce coordinated movements of extension, retraction, and rotation. A pair of upper struts pivotally mounted to the arms at one end pivotally connect to a first blade at their apogee ends to form a frog-leg type assembly. Likewise, a pair of lower struts pivotally mounted to the arms at one end pivotally connect to a second blade, which is radially aligned with the first blade, at their apogee ends to form a frog-leg type assembly. The pivotal connection of the upper struts to the arms are offset from the pivotal connections of the lower struts to the arms to produce a different rate of radial movement of the first blade to the second blade during extension and retraction of the blades. The robot facilitates substrate transfers, such as removal of a processed substrate and insertion of an unprocessed substrate within a processing chamber through a single entry of the robot blades into the processing chamber.

Η παρούσα εφεύρεση παρέχει ένα ρομπότ και μια μέθοδο το ρομπότ για τη μεταφορά των αντικειμένων, δηλαδή υποστρώματα, μέσω ενός συστήματος διαδικασίας. Το ρομπότ παρέχει ένα ζευγάρι των κινητών όπλων που τοποθετούνται σε ένα μέλος κίνησης που προσαρμόζεται για να κινήσει τα όπλα σε μια περιστροφική πορεία προς συντονισμένες τις προϊόντα μετακινήσεις της επέκτασης, της απόσυρσης, και της περιστροφής. Ένα ζευγάρι των ανώτερων δοκών στέγης που τοποθετούνται με δυνατότητα περιστροφής στα όπλα από τη μία πλευρά με δυνατότητα περιστροφής συνδέει με μια πρώτη λεπίδα στις άκρες απόγειού τους για να διαμορφώσει μια συνέλευση τύπων βάτραχος-ποδιών. Επιπλέον, ένα ζευγάρι των χαμηλότερων δοκών στέγης που τοποθετούνται με δυνατότητα περιστροφής στα όπλα από τη μία πλευρά με δυνατότητα περιστροφής συνδέει με μια δεύτερη λεπίδα, που ευθυγραμμίζεται ακτινωτά με την πρώτη λεπίδα, στις άκρες απόγειού τους για να διαμορφώσει μια συνέλευση τύπων βάτραχος-ποδιών. Η κεντρική σύνδεση των ανώτερων δοκών στέγης στα όπλα αντισταθμίζεται από τις κεντρικές συνδέσεις των χαμηλότερων δοκών στέγης στα όπλα για να παραγάγει ένα διαφορετικό ποσοστό ακτινωτής μετακίνησης της πρώτης λεπίδας στη δεύτερη λεπίδα κατά τη διάρκεια της επέκτασης και της απόσυρσης των λεπίδων. Το ρομπότ διευκολύνει τις μεταφορές υποστρωμάτων, όπως η αφαίρεση ενός επεξεργασμένων υποστρώματος και μιας εισαγωγής ενός μη επεξεργασμένου υποστρώματος μέσα σε μια αίθουσα επεξεργασίας μέσω μιας ενιαίας εισόδου των λεπίδων ρομπότ μέσα σε την αίθουσα επεξεργασίας.