A wafer handling robot system (10) operates in a wafer chamber (40) and comprises two independent robot blades, an upper blade (18) surmounting a lower blade (26). A pair of wafers (28, 32) are supported and positioned at the outer ends (78) of the upper and lower blades (18, 26). The upper robot blade (18) keeps an upper wafer (28) at a level just above the level at which the lower robot blade (26) keeps a lower wafer (32). Because the wafers are virtually at the same level, the same wafer lift mechanism can be used in the wafer chamber to lift and remove or replace the wafers on the two blades. By offsetting the height of the wafers by minimal amounts, the throughput of the system can be increased by up to a factor of two over a single robot blade system, particularly if the robot is the limiting factor on throughput. This throughput enhancement represents a substantial gain with a relatively simple and inexpensive addition to the equipment.

Una oblea que maneja el sistema de la robusteza (10) funciona en un compartimiento de la oblea (40) y abarca dos láminas independientes de la robusteza, una lámina superior (18) que supera una lámina más baja (26). Un par de las obleas (28, 32) se apoya y se coloca en los extremos externos (78) de las láminas superiores y más bajas (18, 26). La lámina superior de la robusteza (18) mantiene una oblea superior (28) en un nivel justa sobre el nivel en el cual la lámina más baja de la robusteza (26) guarda una oblea más baja (32). Porque las obleas están virtualmente en el mismo nivel, el mismo mecanismo de la elevación de la oblea se puede utilizar en el compartimiento de la oblea para levantar y para quitar o para substituir las obleas en las dos láminas. Compensando la altura de las obleas por cantidades mínimas, el rendimiento de procesamiento del sistema se puede aumentar en hasta un factor del excedente dos un solo sistema de la lámina de la robusteza, particularmente si la robusteza es el factor limitador en rendimiento de procesamiento. Este realce del rendimiento de procesamiento representa un aumento substancial con una adición relativamente simple y barata al equipo.