A micro-electromagnetic device having a three dimensional structure is formed using laser chemical vapor deposition on a conductive surface. Arrays of electromagnetic devices may be formed. Various techniques for facilitating deposition on the conductive surface may be used. A helical antenna for use in the THz region may be formed in accordance with the laser chemical vapor deposition. The antenna is preferably formed on a bolometer.

Un dispositif micro-électromagnétique ayant une structure tridimensionnelle est formé en utilisant la déposition en phase vapeur de laser sur une surface conductrice. Des choix de dispositifs électromagnétiques peuvent être formés. De diverses techniques pour faciliter le dépôt sur la surface conductrice peuvent être employées. Une antenne hélicoïdale pour l'usage dans la région de THz peut être formée selon la déposition en phase vapeur de laser. L'antenne est de préférence formée sur un bolométre.