A MEMS (Micro Electro Mechanical System) variable optical attenuator is provided that is capable of optical attenuation over a full range of optical power. The MEMS variable optical attenuator comprises a microelectronic substrate, a MEMS actuator and an optical shutter. The MEMS variable optical attenuator may also comprise a clamping element capable of locking the optical shutter at a desired attenuation position. The variable light attenuator is capable of attenuating optical beams that have their optical axis running parallel and perpendicular to the substrate. Additionally, the MEMS actuator of the present invention may comprise an array of MEMS actuators capable of supplying the optical shutter with greater displacement distances and, thus a fuller range of optical attenuation. In one embodiment of the invention, the MEMS actuator comprises a thermal arched beam actuator. Additionally, the variable optical attenuator of the present invention may be embodied in a thermal bimorph cantilever structure. This alternate embodiment includes a microelectronic substrate and a thermal bimorph cantilever structure having at least two materials of different thermal coefficient of expansion. The thermal bimorph is responsive to thermal activation and moves in the direction of the material having the lower thermal coefficient expansion. Upon activation, the thermal bimorph intercepts the path of the optical beam and provides for the desired level of optical attenuation. The invention also provides for a method of optical attenuation and a method for fabricating an optical attenuator in accordance with the described structures.

Un atténuateur optique variable de MEMS (système mécanique d'électro micro) est à condition que soit capable de l'atténuation optique sur une gamme complète de puissance optique. L'atténuateur optique variable de MEMS comporte un substrat microélectronique, un déclencheur de MEMS et un obturateur optique. L'atténuateur optique variable de MEMS peut également comporter un élément de retenue capable de fermer l'obturateur optique à une position désirée d'atténuation. L'atténuateur léger variable est capable d'atténuer les faisceaux optiques qui ont leur être parallèle optique d'axe et perpendiculaire au substrat. En plus, le déclencheur de MEMS de la présente invention peut comporter une rangée des déclencheurs de MEMS capables de fournir l'obturateur optique de plus grandes distances de déplacement et, ainsi une gamme complète d'atténuation optique. Dans un mode de réalisation de l'invention, le déclencheur de MEMS comporte un déclencheur arqué thermique de faisceau. En plus, l'atténuateur optique variable de la présente invention peut être incorporé dans une structure en porte-à-faux de bimorph thermique. Cette incorporation alternative inclut un substrat microélectronique et une structure en porte-à-faux de bimorph thermique ayant au moins deux matériaux de coefficient d'expansion thermique différent. Le bimorph thermique est sensible à l'activation thermique et se déplace la direction du matériel ayant l'expansion thermique inférieure de coefficient. Sur l'activation, le bimorph thermique arrête le chemin du faisceau optique et prévoit le niveau désiré de l'atténuation optique. L'invention prévoit également une méthode d'atténuation optique et une méthode pour fabriquer un atténuateur optique selon les structures décrites.