An upper arm 4 and a lower arm 6 of a parallel link system that perform extension and retraction action in the same direction without mutual interference are arranged within a vacuum enclosure 1. Three magnetic couplings are arranged coaxially at three levels, through which extension/retraction action and swivel action of upper and lower arms are effected. Using a cam box having three output shafts driven by a single input shaft to which an arm drive motor is connected, extension/retraction drive and Z axis drive of upper and lower arms are performed, while swiveling action of upper and lower arms is driven by a swivel motor.

Un bras supérieur 4 et un bras inférieur 6 d'un système parallèle de lien qui effectuent l'action de prolongation et de rétraction dans la même direction sans interférence mutuelle sont arrangés dans une clôture 1 de vide. Trois accouplements magnétiques sont arrangés coaxialement à trois niveaux, par lesquels l'action d'extension/retraction et l'action de pivot des bras supérieurs et inférieurs sont effectuées. En utilisant une came enfermez dans une boîte faire conduire trois axes de rendement par un axe simple d'entrée auquel un moteur d'entraînement de bras est relié, commande d'extension/retraction et la commande d'axe de Z des bras supérieurs et inférieurs sont exécutées, tout en pivotant action de supérieur et des bras inférieurs est conduits par un moteur de pivot.