An improved anode, cup and conductor assembly for a reactor vessel includes an anode assembly supported within a cup which holds a supply of process fluid. The anode assembly has an anode shield carrying an anode. The anode shield and the anode are supported from below by a delivery tube which also serves to deliver process fluid to the cup. A bayonet connection is provided between a top portion of the delivery tube and the anode assembly. The fluid delivery tube has a fixed height within the vessel. The anode elevation is adjusted by the interposing of a spacer of desired thickness between the anode and the tube. An electrical conductor is connected to the anode, and passes through the tube to be electrically accessible outside the vessel. The conductor is connected to the anode with a plug-in connection which is completed when the tube is coupled to the anode by the bayonet connection. A spring loaded bellos seal and a corrugated sleeve seal the electrical conductor from the anode, though the delivery tube, and to the outside electrical accessibility.

Улучшенный агрегат анода, чашки и проводника для сосуда реактора вклюает агрегат анода поддержанный внутри чашка которая держит поставку отростчатой жидкости. Агрегат анода имеет экран анода снести анод. Экран анода и анод поддержаны from below мимо пробка поставки также служит поставить отростчатую жидкость к чашке. Соединение штифта предусмотрено между верхней частью пробки поставки и агрегатом анода. Жидкая пробка поставки имеет fixed height внутри сосуд. Высота анода отрегулирована interposing прокладки заданной толщины между анодом и пробкой. Электрический проводник подключен к аноду, и проходит через пробку для того чтобы быть электрически доступн вне сосуда. Проводник подключен к аноду с вставляемым соединением выполнено когда пробка соединена к аноду соединением штифта. Весна нагрузила уплотнение bellos и corrugated уплотнение втулки электрический проводник от анода, однако пробки поставки, и к доступности снаружи электрической.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Reactor assembly and method of assembly

> Apparatus and method for electrolytically depositing copper on a semiconductor workpiece

> (none)

~ 00014