A dielectric thin-film material for microwave applications, including use as a capacitor, the thin-film comprising a composition of barium strontium calcium and titanium of perovskite type (Ba.sub.x Sr.sub.y Ca.sub.1-x-y)TiO.sub.3. Also provided is a method for making a dielectric thin film of that formula over a wide compositional range through a single deposition process.

Un materiale di sottili pellicole dielettrico per le applicazioni di microonda, compreso uso come condensatore, il di sottili pellicole contenendo una composizione il calcio dello stronzio del bario ed il titanio di perovskite scrivono (Ba.sub.x Sr.sub.y Ca.sub.1-x-y)TiO.sub.3. Inoltre è fornito un metodo per fare una pellicola sottile dielettrica di quella formula sopra una gamma composizionale larga con un singolo processo di deposito.