A polymeric low dielectric constant solution includes a low dielectric constant polymer dissolved in an aromatic aliphatic ether solvent. The polymer preferably is a poly(arylene ether) and the solvent preferably is anisole, methylanisole, phenetole or mixtures thereof. A process for forming a dielectric film on a substrate by spin-coating the polymeric solution is also provided.

Een polymere lage diëlektrische constanteoplossing omvat een laag diëlektrische opgelost constantepolymeer in een aromatisch alifatisch etheroplosmiddel. Het polymeer bij voorkeur is een poly(aryleneether) en het oplosmiddel bij voorkeur is anisole, methylanisole, phenetole of daarvan mengsels. Een proces om een diëlektrische film op een substraat te vormen door de polymere oplossing wordt rotatie-met een laag te bedekken ook verstrekt.