A process for removing contaminants from the surface of a substrate comprises contacting the substrate with a cleaning composition comprising at least one mono-, di-, or trialkoxy-substituted perfluoroalkane, perfluorocycloalkane, perfluorocycloalkyl-containing perfluoroalkane, or perfluorocycloalkylene-containing perfluoroalkane compound, the compound optionally containing additional catenary heteroatoms. The compounds exhibit good solvency properties while being environmentally acceptable.

Een proces om verontreinigende stoffen uit de oppervlakte van een substraat te verwijderen bestaat uit het contacteren van het substraat met een het schoonmaken samenstelling bestaand uit minstens één mono -, Di -, of trialkoxy-gesubstitueerd perfluoroalkane, perfluorocycloalkane, perfluorocycloalkyl-bevattend perfluoroalkane, of perfluorocycloalkylene-bevattend perfluoroalkane samenstelling, de samenstelling die naar keuze extra catenary bevat heteroatoms. De samenstellingen stellen goede solventieeigenschappen tentoon terwijl ecologisch aanvaardbaar het zijn.