The present invention provides a thin piezoelectric film having a high piezoelectric strain constant and a good adhesion with a lower electrode which can be produced without being cracked. The present invention also provides an ink jet recording head comprising this thin piezoelectric film as a vibrator. The thin piezoelectric film element of the present invention comprises a PZT film 14 made of a polycrystalline substance, and an upper electrode 16 and a lower electrode 12 arranged with the PZT film interposed therebetween. The grain boundary of the crystalline constituting the PZT film is present almost perpendicular to the surface of the electrode. Further, the orientation of the crystalline constituting the PZT film is controlled to a desired range.

La actual invención provee de una película piezoeléctrica fina que tiene una alta tensión piezoeléctrica constante y una buena adherencia un electrodo más bajo que se pueda producir sin ser agrietado. La actual invención también proporciona una cabeza de grabación de la inyección de tinta que abarca esta película piezoeléctrica fina como vibrador. El elemento piezoeléctrico fino de la película de la actual invención abarca una película 14 de PZT hizo de una sustancia polycrystalline, y un electrodo superior 16 y un electrodo más bajo 12 dispuesto con la película de PZT interpuesta therebetween. El límite de grano del cristalino constituyendo la película de PZT es actual casi perpendicular a la superficie del electrodo. Además, la orientación del cristalino constituyendo la película de PZT se controla a una gama deseada.