A system for positioning an end effector of a wafer handling robot with
respect to a wafer to be extracted from a cassette, and for thereafter
reading an indicial mark on the wafer. The system includes a pair of
sensor units fixedly mounted on the end effector, which sensor units are
capable of detecting the wafer edge upon approach of the end effector
toward the wafer. Based on the positions of the end effector when the
first and then the second sensor units detect the edge of the wafer, a
computer may determine the orientation of the end effector with respect to
the wafer, and adjust a position of the end effector to a center of the
wafer. Thereafter, the indicial mark on the wafer may be read by a camera
by withdrawing the wafer from the cassette on the end effector,
positioning the center of the wafer over the central axis of rotation of
the wafer handling robot, and rotating the robot until the indicial mark
is located under the camera.
Ein System für die Positionierung eines Endes ausführend von einer Oblate, die Roboter in Bezug auf eine von einer Kassette extrahiert zu werden Oblate, anfaßt, und für eine indicial Markierung auf der Oblate danach lesen. Das System schließt ein Paar Sensor-Maßeinheiten ein, die örtlich festgelegt am ausführenden Ende angebracht werden, das Sensor-Maßeinheiten zum Ermitteln des Oblaterandes nach Annäherung des Endes fähig sind, das in Richtung zur Oblate ausführend ist. Gegründet auf den Positionen des ausführenden Endes, wenn die ersten und dann die zweiten Sensor-Maßeinheiten den Rand der Oblate ermitteln, kann ein Computer die Lagebestimmung des Endes feststellen, das in Bezug auf die Oblate ausführend ist und justiert eine Position des Endes, das auf eine Mitte der Oblate ausführend ist. Danach kann die indicial Markierung auf der Oblate durch eine Kamera gelesen werden, indem man die Oblate von der Kassette am Ende zurücknimmt, das ausführend ist und die Mitte der Oblate über zentralen Rotationsachse der Oblate in Position bringt, die Roboter anfaßt und den Roboter dreht, bis die indicial Markierung unter der Kamera sich befindet.
