A substrate handling system comprises a robot containing mico-environment in communication with a plurality of processing stations. The robot has a robot arm comprising an end effector linkage mounted to an extensible linkage. Each of the linkages is independently actuatable using an associated motor, with the extensible linkage serving to convey the end effector linkage to the vicinity of a target processing station for delivery or retrieval of a substrate. Motion of the linkages may be synchronized to reduce travel time, and multiple end effectors may be mounted to the extensible linkage for increasing throughput.

Ένα διαχειριζόμενο σύστημα υποστρωμάτων περιλαμβάνει ένα ρομπότ που περιέχει το μηθο-περιβάλλον στην επικοινωνία με μια πολλαπλότητα των σταθμών επεξεργασίας. Το ρομπότ έχει έναν βραχίονα ρομπότ περιλαμβάνοντας έναν σύνδεσμο συσκευών επίδρασης τελών που τοποθετείται σε έναν εκτατό σύνδεσμο. Κάθε ένας από τους συνδέσμους είναι ανεξάρτητα actuatable χρησιμοποιώντας μια σχετική μηχανή, με τον εκτατό σύνδεσμο που χρησιμεύει να μεταβιβάσει το σύνδεσμο συσκευών επίδρασης τελών στην εγγύτητα ενός σταθμού επεξεργασίας στόχων για την παράδοση ή την ανάκτηση ενός υποστρώματος. Η κίνηση των συνδέσμων μπορεί να συγχρονιστεί για να μειώσει το χρόνο ταξιδιού, και τα πολλαπλάσια effectors τελών μπορούν να τοποθετηθούν στον εκτατό σύνδεσμο για την αύξηση της ρυθμοαπόδοσης.