A substrate processing apparatus having a supply of substrates, a substrate transport module, and a substrate processing module. The transport module has a movable arm assembly and two substrate holders mounted to the movable arm assembly. The substrate holders each have two separate holding areas for simultaneously holding two substrates. The movable arm assembly has two pairs of driven arms. Each pair of driven arms is connected to a separate one of the holders for extending and retracting the holders along a radial path relative to a center of the movable arm assembly.

Un substrato que procesa el aparato que tiene una fuente de substratos, de un módulo del transporte del substrato, y de un substrato que procesa el módulo. El módulo del transporte tiene un montaje movible del brazo y dos sostenedores del substrato montados al montaje movible del brazo. Los sostenedores cada uno del substrato tienen dos áreas que sostienen separadas para simultáneamente sostener dos substratos. El montaje movible del brazo tiene dos pares de brazos conducidos. Cada par de brazos conducidos está conectado con separado de los sostenedores para extender y contraer los sostenedores a lo largo de una trayectoria radial concerniente a un centro del montaje movible del brazo.