A cleaning system for cleaning carriers or containers used to carry semiconductor wafers has a door cleaner adjacent to a centrifugal box cleaner. Box holder assemblies are attached to a rotor within the box cleaner. Upper and lower hooks on the box holder assemblies hold boxes as the rotor spins. The door cleaner has a base which holds doors in a vertical and upright position. An elevator lowers the base into an ultrasonic cleaning tank. The tank lid seals the tank during use. Ultrasonic cleaning fluid is filtered and cycled into and out of the tank. Boxes and their doors, such as front opening unified pods (FOUP) are both efficiently cleaned and handled.

Un sistema di pulizia per gli elementi portanti o i contenitori di pulizia ha usato trasportare le cialde a semiconduttore ha un pulitore del portello adiacente ad un pulitore centrifugo della scatola. I complessivi del supporto della scatola sono fissati ad un rotore all'interno del pulitore della scatola. I ganci superiori e più bassi sulle scatole della stretta dei complessivi del supporto della scatola come il rotore fila. Il pulitore del portello ha una base che tiene i portelli in una posizione verticale e dritta. Un elevatore abbassa la base in un carro armato di pulizia ultrasonica. Il coperchio del carro armato sigilla il carro armato durante l'uso. Il liquido di pulizia per la pulizia ultrasonico è filtrato e ciclato in e dal carro armato. Le scatole ed i loro portelli, quali i baccelli unificati apertura anteriore (FOUP) sono entrambe pulite e maneggiate efficientemente.