An improved conveyor system for transporting a microelectronic workpiece within a processing tool is set forth. The conveyor system includes a transport unit slidably guided on a conveyor rail for transporting and manipulating the workpieces. The transport unit includes a vertical member which is connected to a base end of a two section robot arm. The robot arm includes an end effector at a distal end thereof which is actuated to grip a surrounding edge of a workpiece. A first rotary actuator is arranged to rotate the vertical member about its axis to rotate the entire robot arm. A second rotary actuator is positioned to rotate the second section of the robot arm, via a belt, with respect to the first section of the robot arm. A third rotary actuator is arranged to rotate the end effector about its horizontal axis. The third rotary actuator permits the end effector to flip the microelectronic workpiece between a face up and a face down orientation. In a further aspect of the invention, two transport units are mounted to slide laterally on the conveyor rail. The transport units include a vertical space between respective end effectors and the first sections of the robot arms to allow wafers carried by the end effectors to overlap in plan. Two different end effectors are disclosed, a plunger activated gripping device and a vacuum operated gripping device which uses raised pad areas, vacuum ports and locating pins.

Um sistema melhorado do transporte para transportar um workpiece microelectronic dentro de uma ferramenta processando é determinado. O sistema do transporte inclui uma unidade do transporte guiada slidably em um trilho do transporte para transportar e manipular os workpieces. A unidade do transporte inclui um membro vertical que seja conectado a uma extremidade baixa de um braço do robô de duas seções. O braço do robô inclui uma extremidade effector em uma extremidade distal disso que seja atuada para prender uma borda circunvizinha de um workpiece. Um primeiro atuador giratório é arranjado para girar o membro vertical sobre sua linha central para girar o braço inteiro do robô. Um segundo atuador giratório é posicionado para girar a segunda seção do braço do robô, através de uma correia, com respeito à primeira seção do braço do robô. Um terceiro atuador giratório é arranjado para girar a extremidade effector sobre sua linha central horizontal. O terceiro atuador giratório permite a extremidade effector lançar para baixo o workpiece microelectronic entre uma orientação de face para cima e da cara. Em um aspecto mais adicional da invenção, duas unidades do transporte são montadas para deslizar lateralmente no trilho do transporte. As unidades do transporte incluem um espaço vertical entre effectors respectivos do fim e as primeiras seções dos braços do robô para permitir que para o fim os effectors carregados wafers sobreponham na planta. Dois effectors diferentes do fim são divulgados, um dispositivo emocionante ativado atuador e um dispositivo emocionante operado vácuo que use áreas levantadas da almofada, portos do vácuo e os pinos localizando.