A nest arrangement which is configured to support a substrate during a
dicing process, and methods for using such a nest arrangement, are
disclosed. According to one aspect of the present invention, a nest
arrangement supports a substrate, which includes a first side and a second
side, the first side being smoother than the second side. This nest
arrangement includes a nest having a first side and a second side disposed
above a vacuum retainer plate. The nest includes a locator pin for
aligning the substrate with the nest when said substrate is disposed on
the first side of the nest, and has a grid which defines at least one nest
opening with an opening area that is smaller than an area of a chip diced
from the substrate, and at least one retainer wall disposed on the first
side proximate the opening area. The vacuum retainer plate has thereon at
least one vacuum pedestal, which is configured to be disposed through the
nest opening when the nest is mated with the vacuum retainer plate. The
vacuum pedestal protrudes above the first side of the nest when the vacuum
pedestal is disposed through the nest opening to lift the substrate off
the first side of the nest when the nest is mated with the vacuum retainer
plate.
Μια ρύθμιση φωλιών που διαμορφώνονται για να υποστηρίξουν ένα υπόστρωμα κατά τη διάρκεια μιας διαδικασίας χωρισμού σε τετράγωνα, και οι μέθοδοι για μια τέτοια ρύθμιση φωλιών, αποκαλύπτονται. Σύμφωνα με μια πτυχή της παρούσας εφεύρεσης, μια ρύθμιση φωλιών υποστηρίζει ένα υπόστρωμα, το οποίο περιλαμβάνει μια πρώτη πλευρά και μια δεύτερη πλευρά, η πρώτη πλευρά που είναι ομαλότερες από τη δεύτερη πλευρά. Αυτή η ρύθμιση φωλιών περιλαμβάνει μια φωλιά που έχει μια πρώτη πλευρά και μια δεύτερη πλευρά διατεθειμένων επάνω από ένα κενό πιάτο υπηρετών. Η φωλιά περιλαμβάνει μια καρφίτσα εντοπιστών για την ευθυγράμμιση του υποστρώματος με τη φωλιά όταν διατίθεται το εν λόγω υπόστρωμα στην πρώτη πλευρά της φωλιάς, και έχει ένα πλέγμα που καθορίζει τουλάχιστον μια φωλιά ανοίγοντας με μια ανοίγοντας περιοχή που είναι μικρότερη από μια περιοχή ενός τσιπ που χωρίζεται σε τετράγωνα από το υπόστρωμα, και τουλάχιστον έναν τοίχο υπηρετών που διατίθεται στην πρώτη πλευρά εγγύτατη την ανοίγοντας περιοχή. Το κενό πιάτο υπηρετών έχει επ'αυτού τουλάχιστον ένα κενό βάθρο, το οποίο διαμορφώνεται για να διατεθεί μέσω της φωλιάς ανοίγοντας όταν ζευγαρώνουν τη φωλιά με το κενό πιάτο υπηρετών. Το κενό βάθρο προεξέχει επάνω από την πρώτη πλευρά της φωλιάς όταν διατίθεται το κενό βάθρο μέσω της φωλιάς ανοίγοντας για να ανυψώσει το υπόστρωμα από την πρώτη πλευρά της φωλιάς όταν ζευγαρώνουν τη φωλιά με το κενό πιάτο υπηρετών.