Oxide thin films having a perovskite-like structure and undergoing a
ferromagnetic phase transition with large temperature coefficients of
resistance (TCRs) are disclosed. These can be useful materials for making
thermistors, bolometers, infrared detectors and the like. These can be
fabricated with a number of methods, preferably including metal oxide
chemical vapor deposition, laser ablation and sputtering. In one
embodiment, the oxides are based on a LaMnO.sub.3 with substitutions of
Ca, Sr, Ba, Mn, and Pb for some of the La. The amounts can be varied to
maximize the TCR or shift the temperature at which the maximum occurs.
Methods of making such thin films are disclosed. In one embodiment, the
high sensitivity films can be used in an array of micro-bolometers in an
infrared camera.
As películas finas do óxido que têm a perovskite-como a estrutura e que submetem-se a uma transição ferromagnetic da fase com coeficientes grandes da temperatura da resistência (TCRs) são divulgadas. Estes podem ser materiais úteis para fazer termistores, bolómetros, os detetores infravermelhos e o gosto. Estes podem ser fabricados com um número de métodos, preferivelmente including o deposition de vapor químico de óxido de metal, o ablation do laser e sputtering. Em uma incorporação, os óxidos são baseados em um LaMnO.sub.3 com substituições do CA, do sr, do ba, do manganês, e do pb para algum do la. As quantidades podem ser variadas para maximize o TCR ou para deslocar a temperatura em que o máximo ocorre. Os métodos de fazer tais películas finas são divulgados. Em uma incorporação, as películas elevadas da sensibilidade podem ser usadas em uma disposição dos micro-bolómetros em uma câmera infravermelha.