An improved microsystems testing and characterization system which allows the system user to identify specific structures, and thereby to initiate an automated testing sequence to be applied to that structure or a series of structures. The integrated control system that governs the present invention automates the power supply to the device, the precision motion control of all components, the sensor operation, data processing and data presentation. Therefore operation is autonomous once the microstructure is in place and the testing sequence is specified. The integrated testing system can be used to perform tests on an entire wafer or on a single die.

Microsystems melhorados que testam e sistema da caracterização que permite que o usuário do sistema identifique estruturas específicas, e para iniciar desse modo uma seqüência testando automatizada a ser aplicada a essa estrutura ou a uma série das estruturas. O sistema de controle integrado que governa a invenção atual automatiza a fonte de alimentação ao dispositivo, o controle do movimento da precisão de todos os componentes, a operação do sensor, o processo de dados e a apresentação dos dados. Conseqüentemente a operação é autônoma uma vez que o microstructure está no lugar e a seqüência testando está especificada. O sistema testando integrado pode ser usado executar testes em um wafer inteiro ou em um único dado.