A projection eyepiece and method for aligning pattern areas on a substrate surface having a micro-optical device on an opposite surface side of the substrate is disclosed. The projection eyepiece enables projection of a reticle image onto a first surface of a substrate, enabling receipt of a reflection of that reticle image from a micro-optical device located on a second and opposing surface of the substrate, and enabling comparison of the projected and received image to determine alignment of the point of incidence on the first surface with the micro-optical device of the second surface. The projection eyepiece therefore determines alignment of pattern areas on opposing substrate surfaces by comparing a projected reticle image to a reflection of that projected reticle image.

Показаны окуляр и метод проекции для выравнивать зоны картины на поверхности субстрата имея микро--opticeski приспособление на противоположной поверхностной стороне субстрата. Окуляр проекции включает проекцию изображения перекрещения на первую поверхность субстрата, включающ получение отражения того изображения перекрещения от микро--opticeski приспособления расположенного на секунде и сопротивляющся поверхность субстрата, и включающ сравнение запроектированного, что и полученного изображения обусловил выравнивание пункта падения на первой поверхности с микро--opticeski приспособлением второй поверхности. Окуляр проекции поэтому обусловливает выравнивание зон картины на сопротивляясь поверхностях субстрата путем сравнивать запроектированное изображение перекрещения к отражению того запроектированное изображение перекрещения.