A vibration displacement sensing device comprises a piezoelectric substrate, an input interdigital transducer, a first output interdigital transducer, a second output interdigital transducer, and a signal analyzer. All the input-, the first output-, and the second output interdigital transducers are formed on one end surface of the piezoelectric substrate. If an input electric signal is applied to the input interdigital transducer, an elastic wave is excited in the piezoelectric substrate. A leaky component of the elastic wave is radiated effectively in the form of a longitudinal wave toward a first material located inside a second material which is in contact with the other end surface of the piezoelectric substrate and has an acoustic impedance different from that of the first material. The longitudinal wave is reflected by the first material. A reflected longitudinal wave is detected at the first output interdigital transducer as a first delayed electric signal. A non-leaky component of the elastic wave is detected at the second output interdigital transducer as a second delayed electric signal. A vibration displacement caused by the first material is sensed by the signal analyzer from a difference between the first- and second delayed electric signals.

Приспособление смещения вибрации воспринимая состоит из пьезоэлектрического субстрата, датчика входного сигнала interdigital, датчика первого выхода interdigital, датчика второго выхода interdigital, и анализатора сигнала. Полностью входной сигнал -, первый выход -, и датчики второго выхода interdigital сформированы на одной поверхности конца пьезоэлектрического субстрата. Если сигнал входного сигнала электрический приложен к датчику входного сигнала interdigital, то эластичная волна возбужена в пьезоэлектрическом субстрате. Leaky компонент эластичной волны излучен эффективно in the form of продольная волна к первым внутренности обнаруженной местонахождение материалом второй материал in contact with другая поверхность конца пьезоэлектрического субстрата и имеет акустический импеданс отличающийся от то из первого материала. Продольная волна отражена первым материалом. Отраженная продольная волна обнаружена на датчике первого выхода interdigital по мере того как первое задержало электрический сигнал. Нон-non-leaky компонент эластичной волны обнаружен на датчике второго выхода interdigital по мере того как второе задержало электрический сигнал. Смещение вибрации причиненное первым материалом воспринято анализатором сигнала от разницы между first- и во-вторых задержанными электрическими сигналами.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Fused pyridine derivatives

> Air feeder provided with by-pass bypassing cooling section, substrate processing apparatus including the same, and air supply method

> (none)

~ 00025