In an air feeder for supplying air with a predetermined temperature and humidity into a cup in a resist coating unit provided in a coating and developing system, a cooling section, a by-pass, a heating section, a humidifying section, and a blower are provided. 55% of introduced air is cooled in the cooling section, 45% of the introduced air passes through the by-pass, and mixed air of the cooled air and the air from the by-pass is heated in the heating section and humidified in the humidifying section, thereby enabling energy-saving and space-saving temperature and humidity control.

En aire un alimentador para el aire que proveía con una temperatura y una humedad predeterminadas en una taza en una unidad de capa del resistir proporcionó en una capa y se proporcionan el sistema que se convierte, una sección que se refresca, puente, una sección de la calefacción, una sección de humectación, y un soplador. el 55% de aire introducido se refresca en la sección que se refresca, el 45% del aire introducido pasa con puente, y el aire mezclado del aire refrescado y el aire de puente se calienta en la sección de la calefacción y se humedece en la sección de humectación, de tal modo permitiendo control del ahorro de la energía y de la temperatura y de la humedad del space-saving.