A tunable Fabry-Perot filter includes an optical cavity bounded by a
stationary reflector and a deformable or movable membrane reflector. A
second electrostatic cavity outside of the optical cavity includes a pair
of electrodes, one of which is mechanically coupled to the movable
membrane reflector. A voltage applied to the electrodes across the
electrostatic cavity causes deflection of the membrane, thereby changing
the length of the optical cavity and tuning the filter. The filter with
the movable membrane can be formed by micro device photolithographic and
fabrication processes from a semiconductor material in an integrated
device structure. The membrane can include an inner movable membrane
portion connected within an outer body portion by a pattern of tethers.
The tether pattern can be such that straight or radial tethers connect the
inner membrane with the outer body. Alternatively, a tether pattern with
tethers arranged in a substantially spiral pattern can be used.
Un filtre réglable de Fabry-Perot inclut une cavité optique liée par un réflecteur stationnaire et un réflecteur deformable ou mobile de membrane. Une deuxième cavité électrostatique en dehors de de la cavité optique inclut une paire d'électrodes, dont une est mécaniquement couplée au réflecteur mobile de membrane. Une tension a appliqué aux électrodes à travers le débattement électrostatique de causes de cavité de la membrane, changeant la longueur de la cavité optique et accordant de ce fait le filtre. Le filtre avec la membrane mobile peut être constitué par le dispositif micro photolithographic et les processus de fabrication d'un matériel de semi-conducteur dans une structure intégrée de dispositif. La membrane peut inclure une partie mobile intérieure de membrane reliée chez un corps externe que la partie par un modèle de attache. Le modèle d'attachement peut être tel que droit ou radial attache relient la membrane intérieure au corps externe. Alternativement, un modèle d'attachement avec attache disposé dans un modèle essentiellement en spirale peut être employé.
