The invention provides a system and method for microscopic X-ray fluorescence. An X-ray source, X-ray focusing element and a tapered X-ray opaque focusing aperture provide a focused X-ray spot on a sample. The system translates a sample between an imaging position and a testing position. In the imaging position, the sample is aligned in three dimensions and after alignment, the system automatically translates the sample between the imaging position and the testing position. To avoid collision between the sample and other elements of the system, a position detecting device terminates the sample translation if the sample trips the position detecting device. The focusing aperture of the system has a tapered through opening to block unfocused X-rays and reduce or eliminate a halo effect. To detect low atomic number elements, a detector aperture is vacuum sealed to an X-ray detector and X-ray elements of the system are vacuum evacuated.

Η εφεύρεση παρέχει ένα σύστημα και μια μέθοδο για το μικροσκοπικό των ακτίνων X φθορισμό. Μια των ακτίνων X πηγή, ένα των ακτίνων X στοιχείο και ένα εκλεπτυμένο των ακτίνων X αδιαφανές άνοιγμα εστίασης παρέχουν ένα των ακτίνων X σημείο σε ένα δείγμα. Το σύστημα μεταφράζει ένα δείγμα μεταξύ μιας θέσης απεικόνισης και μιας εξεταστικής θέσης. Στη θέση απεικόνισης, το δείγμα ευθυγραμμίζεται σε τρεις διαστάσεις και μετά από την ευθυγράμμιση, το σύστημα μεταφράζει αυτόματα το δείγμα μεταξύ της θέσης απεικόνισης και της εξεταστικής θέσης. Για να αποφύγει τη σύγκρουση μεταξύ του δείγματος και άλλων στοιχείων του συστήματος, μια θέση που ανιχνεύει τη συσκευή ολοκληρώνει τη μετάφραση δειγμάτων εάν το δείγμα σκοντάφτει τη θέση ανιχνεύοντας τη συσκευή. Το άνοιγμα εστίασης του συστήματος έχει εκλεπτυμένο μέσω του ανοίγματος στο φραγμό οι ακτίνες X και μειώνει ή εξαλείφει μια επίδραση φωτοστεφάνου. Για να ανιχνεύσει τα χαμηλά ατομικά στοιχεία αριθμού, ένα άνοιγμα ανιχνευτών είναι κενό που σφραγίζεται σε έναν των ακτίνων X ανιχνευτή και τα των ακτίνων X στοιχεία του συστήματος είναι κενά εκκενωθέντα.