A method of operating a micromechanical scanning apparatus includes the
steps of identifying a radius of curvature value for a micromechanical
mirror and modifying a laser beam to compensate for the radius of
curvature value. The identifying step includes the steps of measuring the
far-field optical beam radius of a laser beam reflected from the
micromechanical mirror. The measured far-field optical beam radius is then
divided by a theoretical far-field optical beam radius reflected from an
ideal mirror to yield a ratio value M. An analytical expression for M is
curve-fitted to experimental data for M with the focal-length as a fitting
parameter. The focal-length value determined by this procedure, resulting
in a good fit between the analytical curve and the experimental data, is
equal to half the radius of curvature of the micromechanical mirror. The
micromechanical scanning apparatus is operated by controlling the
oscillatory motion of a first micromechanical mirror with a first
micromechanical spring and regulating the oscillatory motion of a second
micromechanical mirror with a second micromechanical spring.
Un metodo di fare funzionare un'apparecchiatura micromechanical di esame include i punti di identificare un raggio di valore di curvatura per uno specchio micromechanical e di modificazione del fascio laser per compensare il raggio di valore di curvatura. Il punto identificante include i punti di misurazione del raggio ottico del fascio del lontano-campo di un fascio laser riflesso dallo specchio micromechanical. Il raggio ottico misurato del fascio del lontano-campo allora è diviso da un raggio ottico del fascio del lontano-campo teorico riflesso da uno specchio ideale per rendere un valore m. di rapporto. Un'espressione analitica per la m. curva-misura ai dati sperimentali per la m. con la focale-lunghezza come parametro adatto. Il valore di focale-lunghezza determinato da questa procedura, con conseguente buona misura fra la curva analitica ed i dati sperimentali, è uguale alla metà del raggio di curvatura dello specchio micromechanical. L'apparecchiatura micromechanical di esame è funzionata controllando il movimento oscillatorio di un primo specchio micromechanical con una prima molla micromechanical e regolando il movimento oscillatorio di un secondo specchio micromechanical con una seconda molla micromechanical.
