A surface acoustic wave device includes a crystalline substrate with a
structure selected from the group consisting of the perovskite structure,
the spinel structure, and the rock salt structure. The device also
includes a thin piezoelectric crystalline film having the perovskite
structure and deposited on the crystalline substrate by chemical vapor
deposition, and an electrode means for generating a surface acoustic wave
on the thin piezoelectric crystalline film. In the device, a surface of
the crystalline substrate on which the thin piezoelectric crystalline film
is deposited is a mirror surface inclined at an offset angle .theta. from
the (001) plane of the crystalline substrate, and the electrode means have
electrode fingers arranged in parallel to each other so that a surface
acoustic wave propagates along one direction of crystalline axes of the
thin piezoelectric crystalline film.
Un dispositif extérieur d'onde acoustique inclut un substrat cristallin avec une structure choisie dans le groupe de la structure de perovskite, de la structure à spinelle, et de la structure de sel de roche. Le dispositif inclut également un film cristallin piézoélectrique mince ayant la structure de perovskite et déposé sur le substrat cristallin par la déposition en phase vapeur, et des moyens d'une électrode de produire onde acoustique extérieur sur le film cristallin piézoélectrique mince. Dans le dispositif, une surface du substrat cristallin sur lequel le film cristallin piézoélectrique mince est déposé est une surface de miroir inclinée à un theta. excentré d'angle (des 001) plans du substrat cristallin, et le moyen d'électrode font arranger des doigts d'électrode dans parallèle de sorte qu'onde acoustique extérieur propage le long d'une direction des haches cristallines du film cristallin piézoélectrique mince.