Disclosed is a microactuator including a substrate, input lines adapted to apply a drive voltage and signals to an upper electrode, a lower electrode formed on an upper surface of the substrate, a piezoelectric element formed on an upper surface of the lower electrode, the piezoelectric element being provided, at a portion to be connected with the input lines, with at least one etched groove to have a gently inclined lateral surface at the portion, and the upper electrode formed over the piezoelectric element in such a fashion that it extends from an upper surface of the piezoelectric element to the gently inclined lateral surface, the upper electrode being connected to the input lines, whereby the connection between the upper electrode and the input lines is improved. Where the substrate is comprised of a metal substrate, the formation of the lower electrode can be eliminated. Since the piezoelectric element has a gently curved etched structure at one lateral end surface thereof, it is possible for the upper electrode to extend from the upper surface of the piezoelectric element to the substrate via the lateral end surface of the piezoelectric element. Accordingly, it is possible to increase the freedom of connection between the piezoelectric element and the input lines.

Onthuld wordt een microactuator met inbegrip van een substraat, inputlijnen die wordt aangepast om een aandrijvingsvoltage en signalen op een hogere elektrode, een lagere elektrode dat op een hogere oppervlakte van het substraat wordt gevormd, een piezoelectric element dat op een hogere oppervlakte van de lagere elektrode wordt gevormd, het piezoelectric element dat toe te passen, bij een gedeelte dat aan de inputlijnen wordt verschaft, met minstens één geëtste groef moet worden verbonden om een zacht geneigde zijoppervlakte bij het gedeelte, en de hogere elektrode te hebben die over het piezoelectric element op een dergelijke manier wordt gevormd dat het zich van een hogere oppervlakte van het piezoelectric element tot de zacht geneigde zijoppervlakte uitbreidt, de hogere elektrode die met de input wordt verbonden surface at the portion, and the upper electrode formed over the piezoelectric element in such a fashion that it extends from an upper surface of the piezoelectric element to the gently inclined lateral surface, the upper electrode being connected to the input lines, whereby the connection between the upper de elektrode en de inputlijnen zijn beter. Waar het substraat van een metaalsubstraat wordt samengesteld, kan de vorming van de lagere elektrode worden geëlimineerd. Aangezien het piezoelectric element een zacht gebogen geëtste structuur daarvan aan één zijeindoppervlakte heeft, is het mogelijk voor de hogere elektrode om zich van de hogere oppervlakte van het piezoelectric element tot het substraat via de zijeindoppervlakte van het piezoelectric element uit te breiden. Dienovereenkomstig, is het mogelijk om de vrijheid van verbinding tussen het piezoelectric element en de inputlijnen te verhogen.