Reduced diffusion of excess mobile specie from a metal oxide ceramic is achieved by tailoring the composition an/or deposition parameters. A barrier layer which reacts with the excess mobile specie is provided below the metal oxide ceramic to prevent or reduce the diffusion of the excess mobile specie through the bottom electrode and into the substrate.

De verminderde verspreiding van bovenmatige mobiele specie van een ceramisch wordt metaaloxyde bereikt door de samenstelling/of depositoparameters te maken. Een barrièrelaag die met bovenmatige mobiele specie reageert wordt verstrekt onder het ceramische metaaloxyde om de verspreiding van bovenmatige mobiele specie te verhinderen of te verminderen door de onderste elektrode en in het substraat.