An apparatus for processing a workpiece in a micro-environment is set forth. The apparatus includes a rotor motor and a workpiece housing. The workpiece housing is connected to be rotated by the rotor motor. The workpiece housing further defines a substantially closed processing chamber therein in which one or more processing fluids are distributed across at least one face of the workpiece by centripetal acceleration generated during rotation of the housing.

Een apparaat om een werkstuk in een micromilieu wordt te verwerken uiteengezet. Het apparaat omvat een rotormotor en een werkstukhuisvesting. De werkstukhuisvesting wordt verbonden om door de rotormotor worden geroteerd. Werkstuk het huisvesten bepaalt verder wezenlijk gesloten daarin verwerkend kamer waarin één of meerdere verwerkingsvloeistoffen over minstens één gezicht van het werkstuk door centripetale versnelling verdeeld worden die tijdens omwenteling van de huisvesting wordt geproduceerd.